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ヘキサフルオロブタジエン

分子式：C₄F₆
分子量：162
CAS番号：685-63-2

事業			索引
外観			無色、濁っていない
ヘキサフルオロブタジエン含有量			≥98％
水分			＜50PPm（V）
N2			＜80PPm（V）
O2			＜20PPm（V）
CO2			＜20PPm（V）

特征：可燃性、毒性、無色、無味のボトル入りの液化圧縮ガス、吸入に有害、空気と混淆すると、濃度が7％に達すると、すぐに燃焼や爆発の危険があります。。。。。。
用途：半導体のプラズマエッチング、優れた乾燥性エッチングガス。。。。。。フッ素含有ゴム、合成フッ素含有エラストマー、電気特征に優れた樹脂
保管：涼しく換気の良い場所に保管し、容器をしっかりと閉めてください。。。。。。元の容器に保管されている温度は50°Cを超えません。。。。。。直射日光を避けてください。。。。。。酸化剤と混淆して保管しないように注重してください。。。。。。花火に近づかないでください。。。。。。
輸送：圧縮ガスおよび液化ガスの有毒ガス基準に準拠
パッキング：10Lまたは47Lスチールシリンダー圧縮パッケージ、または顧客の要件に応じたパッケージ